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ES 气体质量流量计 EFM500系列

在线式,可双向检测气体流量

EFM500由希腊ES SYSTEM公司开发,是一种基于热膜风速计原理的用于质量气体流量测量的MEMS气体流量传感器系列。

EFM500气体流量传感器的特征是:可双向检测气体流量,测量范围是±(20-500 )SLPM,总误差为读数的1%。流线型对称设计,高质量塑料制造,即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气,也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

工作电压低至3.3V,EFM500气体流量传感器在SPI或I2C总线上提供校准和温度补偿输出,即插即用,可直接连接到低压MCU和系统。为用户提供多种选择(如电源、单向/双向或模拟输出),以便根据每个应用的具体要求选择正确的传感器配置。

EFM500具有结构紧凑、通用性强等优点,其高精度和高可靠性对于医疗、过程自动化和制药设备这些行业尤为重要,是理想的气体质量流量计。

应用及案例


·  医       疗(麻醉机、心脏辅助设备心泵、肺活量计、供氧计量……)

·  分析仪器(光谱仪、色谱仪……)

·  过程自动化(泄漏检测、真空泵检测……)

·  制药设备

·  实  验 室

·  环境监测

·  燃烧控制

·  燃料电池


产品特色


EFM500气体流量传感器的特征是:可双向检测气体流量,测量范围是±(20-500 )SLPM,总误差为读数的1%。流线型对称设计,高质量塑料制造,即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气,也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。



性能指标


校准气体    空气,其它可用气体根据要求

流量范围    ±( 20-500 )SLPM,双向或单向

供电电压    3.3V 或 5V

工作压力    1.45BarA

预热时间    35ms

输出信号    I2C,SPI,0-5V,0-3.3V

总 误  差    1%读数

ADC分辨率    16位

输出刷新率    1ms( 1KHz )

压       损   <750pa@200 SLPM

操作温度    - 40℃ ~ 85℃

校准温度    0℃ ~ 50℃

湿       度    0% - 95% RH, 无冷凝

尺       寸    44×92.8×35.4mm(W×L×H)

材       质    接液材质:增强玻璃热塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

                  环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯、316不锈钢

                  外壳材质:增强玻璃热塑性聚合物

过程接口    22mm ISO 5356

电气接口    2mm 锁定连接器

认       证    RoHS, CE,WEEE



选项配件


评估套件

气体流量评估套件被设计成一款即插即用型设备,无需定制软件或硬件设计及开发,旨在为用户提供一个紧凑的解决方案来评估EFM500系列双向气体质量流量计。开发了一个用户友好的软件用于记录和监测EFM500系列的流量数据。


 

安装手册




机构认证




尺寸详图




产品大图




视频演示




型号列表




订货选型


选型示例  EFM500-XXX-X-X-X-X-X

含       义

EFM500

-XXX

-X

-X

-X

-X

-X

产品型号

流量范围SLPM

020-500(可指定)

方向

-B    双向型

-U    单向型

 

气体

-A      空气

-O      其它

输出信号

-I      I2C

-S      SPI

-A      0-5V

-B      0-3.3V

供电

-L      3.3V

-H      5.0V

控制码